Litografía óptica
Óptica litográfica Starlith®, tecnología clave en la producción de chips.
Desde que la industria de semiconductores existe las constantes demandas en microchips son claras: más rápidos, más confiables, más poderosos, pero más económicos. Nuestros sistemas ópticos han sido un elemento clave en la fabricación y miniaturización de chips por más de 40 años. Ellos han abierto el camino para los fabricantes de chips alrededor del mundo, permitiendo diseños de chips más innovadores y mayor productividad.
Carl Zeiss SMT AG es un proveedor líder dedicado a la excelencia técnica. Facilitamos el crecimiento de las nano tecnologías trabajando en la manufactura y en los mercados de equipos de testeo. Carl Zeiss SMT AG provee un amplio rango de productos y soluciones que dan soporte a la industria global de chips.
Sistemas de metrología de semiconductores
- AIMS® (Aerial Image Measurement): Técnica óptica para el aseguramiento de la calidad en la producción de máscaras fotográficas.
- Sistemas de reparación de máscaras.
- Sistemas combinados de radiación electrónica e iónica para el análisis de errores.
Las máscaras fotográficas son uno de los elementos más importantes en fotolitografía. Contienen información estructural requerida en la manufactura de circuitos integrados o chips. Los dispositivos micro-electrónicos modernos son complejos: pueden contener hasta 40 capas diferentes y cada una tiene una máscara fotográfica asociada.
Incluso defectos diminutos en la disposición de una de estas máscaras puede inutilizar los chips y acarrear enormes pérdidas. Por eso es crucial inspeccionarlas, entender su impacto en el proceso foto-litográfico y eliminar cualquier defecto antes de usarlas. La mejor manera de contar con un control de calidad fiable es emular ópticamente el proceso foto-litográfico, lo que se logra mediante la técnica AIMS®.
Sistemas de nano tecnología
- Microscopios electrónicos de scanning.
- Microscopios electrónicos de scanning de emisión de campo.
- CrossBeam® FIB Workstations.
- Microscopía electrónica de transmisión con filtros de energía.
Carl Zeiss SMT AG puede reproducir con alta resolución las estructuras más finas con su innovadora tecnología de rayos electrónicos que ofrece valor agregado al brindar innovadoras soluciones en los campos de semiconductores, análisis de materiales y biotecnología.